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用于HVM的EUV光源的一大優(yōu)勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinch?技術，非常適用于計量以及研究等應用。
為了滿足不同應用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對峰值功率和峰值亮度的不同來調節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動或者自動菜單。
